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【全2册】先进半导体集成设计研究 刘溪+纳米集成电路FinFET器件物理与模型 清华大学出版社
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【全3册】半导体微缩图形化与下一代光刻技术讲+光刻技术 原著第二版+半导体先进光刻理论与技术 芯片半导体晶圆光刻刻蚀工艺书
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